进度，分三个阶段推进最稳妥。 他拿起笔在纸上画出时间轴：“第一阶段，光刻区洁净室封闭前15天，让光刻机核心部件进场。193n深紫外光刻机精度极高，需在恒温恒湿环境下拆解包装，过早进场会增加灰尘污染风险，过晚则可能耽误安装调试。 第二阶段，离子注入机可分两批进场。6台先于蚀刻区设备安装前10天到位，剩余6台在净化空调系统试运行后进场。 这类设备涉及高压气源和真空系统，需与厂房的动力管线同步对接，错开改造高峰期能避免交叉施工干扰。” 楚千澜看着时间轴上的节点，指尖轻叩桌面：“按7个月改造周期算，光刻机进场大概在第4个月？” “正是。”王世杰点头，“前3个月完成洁净室主体改造和气体输送系统升级，第4个月进入设备安装窗口期，此时厂...

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